Elektronik
Morgan AM&T steht im Zentrum vieler elektronischer Innovationen, die unsere Welt verändern. Unsere Produkte werden u. a. in modernen Herstellungsprozessen für Halbleiter eingesetzt, wie z. B. Ionenimplantation, Epitaxie (MOCVD und MBE) und Kristallwachstum.
Der Trend bei den Herstellern von integrierten Schaltungen zu kleineren, schnelleren und billigeren Produkten führt dazu, dass die Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen mehr und mehr auf fortschrittliche Werkstoffe zurückgreifen müssen, um die gewünschte Leistung zu erzielen.
Graphit- und Keramikwerkstoffe gehören bei den Prozesskammern (Werkzeuge), in denen Siliziumscheiben verarbeitet werden, zu den zentralen Werkstoffen. Die Roadmap für fortschrittliche Keramikwerkstoffe ändert sich im Einklang mit dem zunehmenden Leistungsbedarf für Halbleiter und den steigenden verfahrenstechnischen Anforderungen. Zu den Faktoren, welche die Anlagenbauer und deren Nachfrage nach fortschrittlichen Werkstoffen beeinflussen, gehören: die kontinuierliche Reduzierung der Linienbreite, der Wechsel von 200 mm auf 300 mm Wafers, höhere Prozesstemperaturen und Reinheitsstandards (jetzt im ppb-Bereich). Morgan bietet heute modernste Reinigungsverfahren und arbeitet jetzt mit führenden Originalausrüstungsherstellern, um neue Werkstoffe zu entwickeln und integrieren, welche die Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen.
Jede neue Generation der IC-Technologie verlangt nach mehr Komplexität und Funktionalität, was wiederum höhere Anforderungen an die Prozessanlagen stellt, wie z. B. bei der Ionenimplantation. Beim Ätzen oder der Metallabscheidung wird eine zunehmende Zahl von Zyklen bei steigender Produktivität verlangt. Morgans hochreine Graphit-Elemente mit glasartigen Eigenschaften verringern die Partikelbildung und Verschmutzung und liefern eine bessere Endleistung sowie längere Lebensdauer und reduzierte Gesamtbetriebskosten. Morgan liefert ferner Produkte, die in der Herstellung von Komponenten, wie z. B. optischen Fasern, Laserdioden und Transistoren für Mobil- und Satellitenkommunikation, verwendet werden.
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